四十八小时联调,最后两个小时。

控制室里,静得能听见每个人的呼吸声。

三班倒的工程师们,谁也没有离开。他们或站或坐,有的倚在墙角,有的蹲在地上,目光却都死死盯着同一个方向——主控台上那块跳动着数据的大屏幕。

"第四十六小时。"王磊的声音干涩,"光源545瓦,稳定。"

"工件台同步误差,0.08纳米。"

"光学链路传输效率,78.4%。"

苏宇坐在主控台前,手里端着一杯早已凉透的咖啡。他已经三天没合眼了,眼底布满了血丝,握着杯子的手,却稳得没有一丝颤抖。

"苏总,"王磊低声说,"您要不……先歇会儿?这边我盯着。"

"歇什么。"苏宇放下咖啡杯,"这台机器,从光源到镜组,每一颗螺丝,都是咱们拧上去的。它跑到最后这两小时,我不在这儿看着,心里不踏实。"

第四十七小时。

控制室里的空气,几乎凝固。

"第四十七小时五十九分……"

"五十九分三十秒……"

"五十九分五十秒……"

王磊的声音,越来越紧。

"零!"他猛地攥紧拳头,"四十八小时——联调完成!"

控制室里,沉寂了三秒。

然后,整个厂房,彻底炸了。

"过了!过了!"

"四十八小时零故障!整机联调,全部通过!"

"咱们的光刻机——活了!活了!"

工人们把安全帽扔上了天,有人抱在一起,哭得像个孩子。

苏宇没有喊,他只是静静地站在主控台前,看着那台钢铁巨兽,看着屏幕上跳动的数据流。

他抬起手,指尖轻轻拂过控制台的边缘,像是拂过一台机器沉睡了二十年的心脏。

"叮!【EUV总装】子任务进度更新:总装(完成)、联调(完成)——最后一环:流片!"

"提示:流片成功,即【EUV总装】子任务全部完成。"

苏宇深吸一口气。

"王磊,"他开口,声音平静,"准备流片。"

"流片?!"王磊一愣,"苏总,现在就流片?"

"对。"苏宇说,"联调刚过,正是状态最好的时候。趁热打铁——"

"让全世界看看,这台机器,造出来的芯片,是什么样的。"

流片,是光刻机最神圣的一步。

晶圆被机械臂稳稳送入真空腔体,在工件台上定位、对准。光源在指令下亮起,极紫外光穿过层层叠叠的光学镜组,在晶圆表面,刻下一道道肉眼看不见的纳米级电路。

厂房里,上百人围在观察窗前,屏住呼吸。

"晶圆装载完毕。"

"工件台定位完毕,对准误差0.06纳米。"

"光学系统,状态就绪。"

"光源系统,状态就绪。"

"曝光开始。"王磊的声音,在安静得可怕的厂房里回荡,"第一组图形,曝光完毕。"

"第二组……"

"第三组……"

每一步指令,都伴随着一个确认音。每一道指令,都像是敲在所有人的心上。

"第十组……"

"第二十组……"

一个小时后,曝光完成。

"曝光完成!"王磊的声音,激动得变了调,"全部图形曝光完毕——转显影!"

晶圆被机械臂从真空腔体中取出,送入显影设备。

所有人,都挤到了显影车间门口。

"显影完成!"操作员的声音,激动得发颤,"晶圆已经出来了!"

"快!快看!"

苏宇第一个走进车间。

操作台上,一块八寸的晶圆静静地躺着。在无尘车间的灯光下,晶圆表面,反射着一层瑰丽的光泽。

他俯下身,凑近那片晶圆。

晶圆表面,密密麻麻的纳米级电路图案,清晰可见——在晶圆的正中央,一个图案赫然浮现。